水冷裝置：真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件、水冷電、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下工作。在這種為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的利用壽命。
      采用低電壓大電流：真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴重的弧光放電 會燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效辦法，如盡量避免有的部件，電間的間距不能太小，以防止輝光放電或者弧光放電的產生。